Технологические процессы изготовления электронных приборов практически всех классов включают в себя вакуумную термическую обработку как отдельных деталей и узлов, так и приборов в целом. Технологические процессы, связанные с нагревом, имеют следующее назначение:
— очистку поверхности от загрязнений;
— уменьшение концентрации газовых и летучих примесей в материале — так называемое обезгаживание;
— введение в материал легирующих примесей;
— образование на поверхности твердого тела слоев со свойствами, отличающимися от свойств основания подложки;
— создание неразъемных соединений методом пайки;
— изменение химического состава за счет термической диссоциации;
— создание различных пиролитических покрытий и т.д.
Широко используется электропечи с водородной восстановительной атмосферой. Чаще всего применяют колпаковые водородные электропечи периодического действия. В единичных случаях используются толкательные и конвейерные водородные электропечи.
смотрите также следующие материалы, размещенные на нашем сайте:
8.Для каких целей применяются водородно-вакуумные электропечи?