Электротехнические стали в состоянии поставки проходят конечную термическую обработку. Однако в случае, если материал поставляется без конечной термической обработки, то при вакуумном отжиге изготовленных деталей ставится задача снятия внутренних напряжений и проведения рекристаллизации во всем их объеме с получением оптимальных по размеру и ориентировке зерен. Кроме того, даже если материал прошел конечную термическую обработку на металлургическом заводе, то в процессе изготовления деталей в них возникают напряжения и пластические деформации, как правило влекущие за собой ухудшение магнитных свойств. В этом случае назначается повторная термическая обработка, для восстановления свойств путем отжига, снимающая основную часть внутренних напряжений и вызывающая рекристаллизацию в деформированных зонах.
На большинстве российских предприятий отжиг в вакууме ведется в электропечах устаревших моделей ЭВТ-15, ОКБ-704А, СЭВ-3.3/11,5М1, СЭВ-3.3/11,5 ФМ2, СЭВ-5,5/11, СГВ-2,3/15, СКБ-7019, МПВ-3 и других, которые разработаны и произведены еще во времена бывшего СССР. В этих электропечах вакуумному отжигу подвергались садки массой от 10 до 300 кг, максимальной рабочей температурой обычно не превышавшей 1150 оС и остаточным давлением от 3·10-3 до 5·10-5 мм рт.ст.
В настоящее время российские предприятия в рамках технического перевооружения осваивают вакуумные электропечи нового поколения торговой марки «НИТТИН» . На ряде российских заводов вакуумный отжиг электротехнических сталей проводят в элеваторных электропечах моделей СЭВФ-3.3/11,5-ИО-НИТТИН, СЭВЭ-3.3/13-ИО-НИТТИН, СЭВФ-5.5/11,5-ИО-НИТТИН, СЭВЭ-5.5/13-ИО-НИТТИН, в камерных электропечах моделей СНВЭ-2.4.2/13-ИО-НИТТИН, СНВЭ-3.6.3/13-ИО-НИТТИН, в двухколпаковой электропечи СГВЭ-2.4-2/13-ИО-НИТТИН, шахтных электропечах СШВЭ-9.13/13-ИО-НИТТИН, СШВЭ-8.12/13-ИО-НИТТИН, СШВЭ-8.9/13-ИО-НИТТИН. В настоящий момент разрабатываются шахтная электропечь модели СШВЭ-5.5/9-ИО-НИТТИН, одноколпаковая электропечь модели СГВЭ-3.4/11,5-ИТМО-НИТТИН. Вакуумные электропечи для отжига магнитомягких материалов могут оснащаться узлами термомагнитной обработки оригинальной конструкции.