Термин «вакуумная гигиена» широко распространен в русскоязычной технической литературе, но он не нашел отражения ни в одном из государственных стандартов. Вернее, нашел, но как недопустимый термин, во введенном впервые ГОСТ Р 50116-92 «Электронная гигиена. Термины и определения». Как до введения данного стандарта, так и после его введения, в рамках инженерного обеспечения производства электроники, в научных исследованиях или в любых производствах, использующих вакуумные технологии терминами «вакуумная гигиена» или «вакуумно-электронная гигиена» продолжают широко пользоваться. Этими словами даже называют соответствующие производственные службы или внутрипроизводственные инструкции.
Соблюдение вакуумной гигиены начинается с борьбы за чистоту воздушной атмосферы производственных помещений. Она не должна содержать взвешенных частиц, не быть загрязненной парами агрессивных веществ. Перечень мероприятий вакуумной гигиены, которые могут быть учтены, связан с конкретной производственной спецификой и сводится, главным образом, к устранению источников загрязнений, попадающих на поверхности деталей в процессе их изготовления.
Например, вакуумная гигиена при диффузионной сварке в вакууме подразумевает защиту поверхностей свариваемых материалов и элементов конструкции от всевозможных загрязнений в ходе производственного цикла. Для этого необходимо обеспечить соответствующий уровень чистоты производственного помещения, создание микроклимата, использование спецодежды, а также инструмента и оборудования, применяемого в процессе производства, только для работы на данной конкретной установке диффузионной сварки в вакууме. Данные требования вакуумной гигиены необходимо соблюдать при эксплуатации вакуумных электропечей. Объем требований вакуумной гигиены зависит от типа вакуумной электропечи, ее предельного вакуума, вида технологического процесса, который осуществляется в вакуумной электропечи. В случае использования вакуумных электропечей торговой марки «НИТТИН» требования вакуумной гигиены могут определяться внутрипроизводственной инструкцией конкретного предприятия. Однако вакуумные электропечи торговой марки «НИТТИН» для электронной промышленности должны эксплуатироваться в строгом соответствии с требованиями ГОСТ Р 50116-92 «Электронная гигиена. Термины и определения».
