Вакуумный пост для сверхвысоковакуумной откачки электровакуумных приборов

Вакуумный пост является технологическим оборудованием для сверхвысоковакуумной откачки электровакуумных приборов различного назначения в электронной промышленности. Откачка газов производится вакуумной системой с турбомолекулярным насосом, который позволяет откачивать прогреваемые электровакуумные приборы через штенгель до вакуума 10-8 мм рт.ст. На форвакуумной ступени используется два безмасляных механических форвакуумных насоса спирального типа (один основной, другой — резервный).

Комментирование запрещено