Применение нового цельнометаллического нагревательного модуля не требует подпорных нагревательных элементов (сводовых и подовых). Он спроектирован для предотвращения теплопотерь и быстрого достижения номинальной температуры. Легковесная энергоэффективная конструкция обеспечивает высокую долговечность, быстрый разогрев садки, достаточно быстрое охлаждение нагревательного модуля вместе с садкой, однородное распределение тепла. Гарантирует сокращение рабочего цикла. Эффективно работает в условиях высокого вакуума. Нагревательные элементы защищены от удара устанавливаемой или извлекаемой садки из рабочего пространства. Предельно упрощен монтаж нагревательного модуля внутри вакуумной камеры.
.