Наиболее эффективным способом обезгаживания деталей из различных материалов является высокотемпературный вакуумный отжиг. Для этой цели используются вакуумные электропечи торговой марки «НИТТИН» с цельнометаллическими нагревательными модулями (горячими зонами). Конструкция нагревательных модулей в большинстве случаев — цилиндрическая для камерных (типа СНВЭ), элеваторных (типа СЭВЭ), шахтных (типа СШВЭ) и колпаковых (типа СГВЭ) электропечей. Основными элементами цельнометаллического цилиндрического нагревательного модуля являются: остов, экранно-вакуумная теплоизоляция, керамические электроизоляторы и нагревательные элементы. Одним из факторов, препятствующих успешной эксплуатации таких нагревательных модулей при температурах выше 900 градусов Цельсия, является металлизация керамических электроизоляторов продуктами испарения материала садки, что приводит к перегоранию нагревателей из-за электрического пробоя на корпус. Поэтому в конструкции высокотемпературных цельнометаллических нагревательных модулей вакуумных электропечей торговой марки «НИТТИН» не используют керамические изоляторы из-за их возможной металлизации. В этом случае нагревательный модуль состоит из остова, экранно-вакуумной теплоизоляции и нагревательных элементов, которые напрямую крепятся к токовводам. Остов такого нагревательного модуля представляет собой жесткий цилиндр из нержавеющей стали на который крепятся пакет экранов тепловой изоляции в виде блока концентрически расположенных цилиндров. Загрузка и выгрузка садки может быть вертикальной. Тогда нагревательные элементы располагаются на боковой поверхности, на своде и поду, за которыми расположены плоские пакеты экранно-вакуумной изоляции. В случае горизонтальной загрузки садки повышение равномерности температуры в рабочем пространстве на ряду с боковым нагревательным элементом обеспечивается торцевыми нагревательными элементами. Для камерных вакуумных электропечей могут применяться горячие зоны в форме параллелепипеда.
